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由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)(MIKASA)的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無刷,因此在潔凈室中的污染性非常出色,并且通過減少電機(jī)的發(fā)熱,在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
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使用交流伺服電機(jī),因此無刷,因此在潔凈室中污染良好,通過降低電機(jī)的發(fā)熱,在連續(xù)使用時(shí),由于溫度升高,薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布機(jī).com(Mikasa)的產(chǎn)品使用交流伺服電機(jī),因此無刷,因此在潔凈室中污染良好,通過降低電機(jī)的發(fā)熱,在連續(xù)使用時(shí),由于溫度升高,薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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光刻.com從旋涂機(jī)(涂布機(jī))到掩模對準(zhǔn)器(曝光裝置),以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實(shí)驗(yàn)室機(jī)器。 此外,作為測量,我們還處理各種測量機(jī),用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
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