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代理日本品牌:OTSUKA大塚電子(薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等)、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)(MIKASA)的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無(wú)刷,因此在潔凈室中的污染性非常出色,并且通過(guò)減少電機(jī)的發(fā)熱,在連續(xù)使用過(guò)程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹:
產(chǎn)品規(guī)格
*大電路板尺寸
φ8英寸晶圓或150×150mm基板
速度(轉(zhuǎn)/分)
20~5,000
旋轉(zhuǎn)精度
±1轉(zhuǎn)/分(負(fù)載時(shí))
發(fā)動(dòng)機(jī)
交流伺服電機(jī)
蓋
聚碳酸酯
旋轉(zhuǎn)室直徑
φ360毫米
步進(jìn)模式數(shù)
100 步× 10 種模式
時(shí)間設(shè)置
999.9秒
**聯(lián)鎖
真空標(biāo)配設(shè)備蓋標(biāo)配設(shè)備
滴水裝置
選擇
使用的真空壓力
-0.08~-0.1兆帕
權(quán)力
交流100~240V 5A
外部尺寸(毫米)
500W×335H×583D
重量
28公斤
* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
支持的選項(xiàng)
<定制類型>
<兼容型號(hào)>
?自動(dòng)滴水裝置(氣動(dòng)型)
1 臂
○
2 臂
○
?自動(dòng)滴水裝置(支架式)
○
?漱邊
○
?背部沖洗
○
?排氣管
○
?廢液排放
○
?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān)
○
?特氟龍涂層
○
?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇
○
?急停開關(guān)
○
?大功率電機(jī)
*大電路板尺寸 | φ8英寸晶圓或150×150mm基板 |
速度(轉(zhuǎn)/分) | 20~5,000 |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±1轉(zhuǎn)/分(負(fù)載時(shí)) |
發(fā)動(dòng)機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
蓋 | 聚碳酸酯 |
旋轉(zhuǎn)室直徑 | φ360毫米 |
步進(jìn)模式數(shù) | 100 步× 10 種模式 |
時(shí)間設(shè)置 | 999.9秒 |
**聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)配設(shè)備蓋標(biāo)配設(shè)備 |
滴水裝置 | 選擇 |
使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
權(quán)力 | 交流100~240V 5A |
外部尺寸(毫米) | 500W×335H×583D |
重量 | 28公斤 |
* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
<定制類型> | <兼容型號(hào)> | |
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?自動(dòng)滴水裝置(氣動(dòng)型) | 1 臂 | ○ |
2 臂 | ○ | |
?自動(dòng)滴水裝置(支架式) | ○ | |
?漱邊 | ○ | |
?背部沖洗 | ○ | |
?排氣管 | ○ | |
?廢液排放 | ○ | |
?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān) | ○ | |
?特氟龍涂層 | ○ | |
?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇 | ○ | |
?急停開關(guān) | ○ | |
?大功率電機(jī) |
選型支持 技術(shù)服務(wù) 售后安裝調(diào)試維修
蘇州代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B200
南京代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B200
常州代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B200
上海代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)MS-B200
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