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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
*大電路板尺寸
φ6英寸晶圓或100×100mm基板
速度（轉(zhuǎn)/分）
20~7，000
旋轉(zhuǎn)精度
±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī)
交流伺服電機(jī)
蓋
丙烯酸
旋轉(zhuǎn)室直徑
φ290毫米
步進(jìn)模式數(shù)
100 步× 10 種模式
時(shí)間設(shè)置
999.9秒
**聯(lián)鎖
真空標(biāo)準(zhǔn)
蓋可選
滴水裝置
選擇
使用的真空壓力
-0.08~-0.1兆帕
權(quán)力
交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）
352W×303H×432D
重量
16公斤
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項(xiàng)
<定制類型>
<兼容型號(hào)>
?自動(dòng)滴水裝置（氣動(dòng)型）
1 臂
○
2 臂
○
?自動(dòng)滴水裝置（支架式）
○
?漱邊
○
?背部沖洗
○
?排氣管
○
?廢液排放
○
?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān)
○
?特氟龍涂層
○
?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇
○
?急停開關(guān)
○
?大功率電機(jī)
| *大電路板尺寸 | φ6英寸晶圓或100×100mm基板 |
| 速度（轉(zhuǎn)/分） | 20~7，000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)） |
| 發(fā)動(dòng)機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉(zhuǎn)室直徑 | φ290毫米 |
| 步進(jìn)模式數(shù) | 100 步× 10 種模式 |
| 時(shí)間設(shè)置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn) 蓋可選 |
| 滴水裝置 | 選擇 |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權(quán)力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16公斤 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
| <定制類型> | <兼容型號(hào)> | |
|---|---|---|
| ?自動(dòng)滴水裝置（氣動(dòng)型） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| ?自動(dòng)滴水裝置（支架式） | ○ | |
| ?漱邊 | ○ | |
| ?背部沖洗 | ○ | |
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān) | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇 | ○ | |
| ?急停開關(guān) | ○ | |
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