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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布機(jī).com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機(jī)，因此無(wú)刷，因此在潔凈室中污染良好，通過(guò)降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ8英寸晶圓或150×150mm基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～5,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負(fù)載時(shí)） |
| 電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 蓋 | 聚碳酸酯 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ360mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時(shí)間設(shè)置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn)蓋 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
| 滴落設(shè)備 | 選項(xiàng) |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸（mm） | 500W×335H×583D |
| 重量 | 28kg |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持選項(xiàng)
| <定制類型> | >支持<的型號(hào) | |
|---|---|---|
| 自動(dòng)滴落裝置（空氣驅(qū)動(dòng)） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| 自動(dòng)滴落裝置（支架類型） | ○ | |
| 邊緣沖洗 | ○ | |
| 反向沖洗 | ○ | |
| 排氣管 | ○ | |
| 廢液排放 | ○ | |
| 蓋子限位開(kāi)關(guān) | ○ | |
| 特氟龍涂層加工 | ○ | |
| 添加電機(jī)廢熱風(fēng)扇 | ○ | |
| 緊急停止開(kāi)關(guān) | ○ | |
| 大功率電機(jī) | ||
膜厚分布數(shù)據(jù)
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| 使用的型號(hào) | MS-B200 |
| 薄膜厚度測(cè)量設(shè)備 | 菲梅特里克斯F50 |
| 電阻 | OFPR-800LB（東京應(yīng)化社制） |
| 電路板尺寸 | φ8英寸硅晶片 |
| 目標(biāo)厚度 | 1μm |
| 薄膜厚度分布 | ±0.5％ |
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