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產品詳情
  • 產品名稱:日本進口MIKASA旋轉刮涂機MS-B300

  • 產品型號:
  • 產品廠商:MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹:
光刻.com從旋涂機(涂布機)到掩模對準器(曝光裝置),以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實驗室機器。 此外,作為測量,我們還處理各種測量機,用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
詳情介紹:

產品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ12英寸晶圓或200×200mm基板
轉速(rpm) 20~5,000
旋轉精度 ±1rpm(負載時)
電機 交流伺服電機
聚碳酸酯
旋轉室內徑 φ500mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯(lián)鎖 真空標準蓋
標準設備
滴落設備 選購件(*多可安裝 2 個臂)
使用真空壓力 -0.08~-0.1MPa
電源 AC200 至 240V 單層 5A
外形尺寸(mm) 545W×432H×654D
重量 55kg
選項 居中夾具

* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。

膜厚分布數據

膜厚分布數據

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使用的型號 MS-B300
電阻 OFPR-800LB(東京應化社制)
電路板尺寸 φ12英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.8%
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