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1.高精度 2.操作は簡(jiǎn)単、スタートスイッチを押すだけ 3.水?界面活性剤を使用せず、完全ドライ測(cè)定 4.5mlから50L/分まで測(cè)定可能
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1.高精度 2.操作は簡(jiǎn)単、スタートスイッチを押すだけ 3.水?界面活性剤を使用せず、完全ドライ測(cè)定 4.5mlから50L/分まで測(cè)定可能
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1.高精度 2.操作は簡(jiǎn)単、スタートスイッチを押すだけ 3.水?界面活性剤を使用せず、完全ドライ測(cè)定 4.5mlから50L/分まで測(cè)定可能
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機(jī)器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機(jī)器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機(jī)器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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1.加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 2.シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 3.圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 4.排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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1.加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 2.シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 3.圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 4.排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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1.加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 2.シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 3.圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 4.排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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1.加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 2.シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 3.圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 4.排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部(AP100Nと同等品)とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています?!·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號(hào)を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)
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AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部(AP100Nと同等品)とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています?!·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號(hào)を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)定圧力値と一致するように自動(dòng)制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です?!?大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です?!R力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當(dāng)品または3/4"VCR相當(dāng)品に対応しています。真空中での使用なら相當(dāng)品導(dǎo)體用
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計(jì) 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計(jì) 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計(jì) 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能