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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本ACE排氣壓力控制器EPS-5200

    • 產(chǎn)品型號: EPS-5200
    • 產(chǎn)品廠商:ACE大流量計
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
    詳情介紹:

    項 目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
    接続パイプ口徑 200A 150A 100A
    流量範(fàn)囲 (1次側(cè)) 0.5 ~ 15 Nm3/min 0.5 ~ 10 Nm3/min 0.3~ 5 Nm3/min
    流量が*低流量に満たない場合には設(shè)定圧力に到達(dá)しない場合があります。
    圧力損失 15 Nm3/min(Air)で50Pa 10 Nm3/min(Air)で20Pa以下 10 Nm3/min(Air)で20Pa以下
    コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
    調(diào)整圧力範(fàn)囲 (1次側(cè)圧力) -50 ~ -999Pa (大気圧との差圧?2次側(cè)圧力に依存します)
    2次側(cè)圧力(バルブ下流圧力) (制御圧力-50)Pa以下
    差圧がこの數(shù)値より小さい場合、1次側(cè)調(diào)整範(fàn)囲が狹くなります。
    圧力精度 ±2% フルスケール 
    制御リップル (定常制御時の変動) ±1% フルスケール (2次側(cè)圧力変動±10Pa以內(nèi))
    耐圧 (1次側(cè)の圧力) 50kPa (大気圧との差圧) 以內(nèi)
    応答性 設(shè)定の98%に対し2秒以內(nèi) (Typical)
    流體溫度 10 ~ 50℃
    本體環(huán)境溫度 (精度保証溫度) 15 ~ 35℃
    電源電圧 24V  DC ± 10%
    外部出力 圧力信號?。骸? ~ 5V DC
    アラーム : NPN ????????????????  DC 30V < 100mA
    コントローラ (CD-100) 現(xiàn)場設(shè)定もしくは外部設(shè)定切換え可能
    外部設(shè)定信號 圧力設(shè)定信號 : 4 ~ 20mA
    バルブ : 強制オープン、コントロール
    (オプション) Control / Open (C/O) : 24V  DC  ON/OFF
    アラーム信號 圧力差異 (任意設(shè)定)
    本體異常 (圧力??????の異常も含む)
    シリアル通信 RS485
    供給Air (N2) 圧力 0.3±0.1MPaG
    各ポート Φ6mm ワンタッチ(バルブ,電空部)
    Φ4㎜ワンタッチ(圧力計測用)
    バルブへの供給配管任意
    接ガス材質(zhì) PVC, バイトン, EPDM
    取り付け姿勢 自由
    コントロール弁狀態(tài) 電源OFF時、バルブ狀態(tài)保持
    パイプ徑、流量?圧力等上記仕様外のご要望の場合は別途ご相談願います。
    排気流量制御が必要な場合は型式DPFCシリーズを準(zhǔn)備しております。別途ご相談願います。

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