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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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UV曝光裝置
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能
２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能
３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御
４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
詳情介紹：
型式 AP-310RV-01 AP-310RV-02 AP-310RV-03 AP-310RV-04
*大流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 20 NLM 50 NLM 100 NLM 200 NLM
常用流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 5 NLM 15 NLM 50 NLM 100 NLM
下限流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 0.01 NLM 0.02 NLM 0.1 NLM 0.2 NLM
上限制御圧力 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs
下限制御圧力（常用流量時(shí)） 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs
制御圧力精度 ±1％FS以下（圧力センサー精度に依存）
応答速度 1秒以下（圧力制御配管容積及び供給ガス流量へ依存）
制御ガス水分濃度（露點(diǎn)） 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP
ガス入口溫度 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃
*大加熱溫度 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃
ガス入口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 3/4
ガス出口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 1
接ガス部材質(zhì) SUS、PTFE他 SUS、バイトン他
空?qǐng)R制御基板及びBOX 含 含 含 含
空?qǐng)R制御ガス圧力 550kPa abs(制御圧に対し、+50kPa以上の供給圧が必要です。)
圧力センター 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br> ヒーター?電対 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br> 溫調(diào)器 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br>
*大流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 20 NLM 50 NLM 100 NLM 200 NLM
常用流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 5 NLM 15 NLM 50 NLM 100 NLM
下限流量（Airの場(chǎng)合?H2の場(chǎng)合は3倍） 0.01 NLM 0.02 NLM 0.1 NLM 0.2 NLM
上限制御圧力 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs 500 KPa abs
下限制御圧力（常用流量時(shí)） 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs 110 KPa abs
制御圧力精度 ±1％FS以下（圧力センサー精度に依存）
応答速度 1秒以下（圧力制御配管容積及び供給ガス流量へ依存）
制御ガス水分濃度（露點(diǎn)） 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP 20-80 DP
ガス入口溫度 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃ 20-90 ℃
*大加熱溫度 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃ 120 ℃
ガス入口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 3/4
ガス出口継手 PF 1/4 RC 3/8 NPT 1/2 NPT 1
接ガス部材質(zhì) SUS、PTFE他 SUS、バイトン他
空?qǐng)R制御基板及びBOX 含 含 含 含
空?qǐng)R制御ガス圧力 550kPa abs(制御圧に対し、+50kPa以上の供給圧が必要です。)
圧力センター 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br> ヒーター?電対 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br> 溫調(diào)器 無(wú)（ご要望の場(chǎng)合はご相談?lì)姢い蓼梗?br>
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