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產品詳情
簡單介紹：
MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTH-3W-3000塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化
詳情介紹：
MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTH-3W-3000塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化
VUV清洗效果 清洗效果達到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染，潔凈如新。
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參考規(guī)格
| 蘋果 | XE（氙氣）準分子燈*1 |
| 波長 | 172納米 *1 |
| 安裝的燈具數量 | 1*2起的定制設計 |
| 有源發(fā)射長度 | 150毫米~2500毫米 |
| 光。。。。。。。。。。。。 標準 | 70毫瓦/平方英寸以上 *4 |
| 光。。。。。。。。。。。。 高照度 | 120毫瓦/平方英寸以上 *4 |
| 光。。。。。。。。。。。。 內管水冷高照度 | 170毫瓦/平方英寸以上 *4 |
| 照度均勻性 | ± 10% 以內 |
| 陣容 | |
| 梅特 | 標準照度（70mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座） |
| 梅烏塔 | 標準照度 （70mW/cm2），風冷 |
| 默斯 | 高照度（120mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座） |
| 默特 | 大面積體輻照裝置（帶石英窗） |
| 梅斯-WC |
內管水冷高照度（170mW/cm2）水冷系統(tǒng)（電源和燈座，內管電極） *5 |
|
■ 注 *1 波長選項：222nm *2 燈管數量、有效長度、照射設備尺寸：定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進行定制 。 對于有效長度為1700mm或以上，兩個燈以交錯排列的方式排列 *2 點亮后立即測量大氣管表面（通過照度計C4/H9536-9535測量）*172 內管冷卻需要純水（每盞燈5L/min） |
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