熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產(chǎn)品中心
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
AMAYA天谷制作所MOCVD 氣相沉積設(shè)備; Doctor-TTM
? 8 英寸晶圓兼容
? 可
沉積金屬氧化膜、金屬氮化膜等 ? 采用
磚利無氯氣化器 ? 擁有
4 種 MO 材料線 ? 單室/雙腔室
可選
詳情介紹：
概述
配備獲得磚利的無氯氣化器，可形成各種有機(jī)金屬化合物。
● 4種MO原料分別通過流量控制同時氣化 ， 因此成分比控制簡單 。
薄膜厚度均勻性和嵌入性可進(jìn)行良好的沉積。
應(yīng)用和實(shí)際示例
金屬氧化膜： SBT/PZT/STO/BLT/BaTiO3/HfAlxOy/PGO/RuOx/IrOx/SRO/VO2/IGZO/BiOx 等
·金屬氮化膜：TaN/TiN/Ta3N5/Nb3N5/AlN 等
·金屬（化合物）膜：BiT/GST/SBTNb/Ti/Ta/Ru/Ir/B等
特點(diǎn)
? 使用無氯氣化器連續(xù)沉積
，易于膜組成控制
，薄膜厚度均勻性好，植入性好
氣相沉積設(shè)備
規(guī)格
|
設(shè)備主體尺寸 （雙室） |
1800mm(D) x 3380mm(W) x 2200mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 集群室，機(jī)器人CtoC輸送 | |||||||||||||||||
| 氣體噴嘴 | 圓形 | |||||||||||||||||
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
