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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本大冢超高速分光干渉式膜厚儀

  • 產(chǎn)品型號:SF-3/1300
  • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
日本大冢超高速分光干渉式膜厚儀SF-3/1300 日本大冢超高速分光干渉式膜厚儀SF-3/1300 日本大冢超高速分光干渉式膜厚儀SF-3/1300
詳情介紹:

超高速分光干渉式膜厚儀


 item_0010SF-3_bg.jpg

以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝,超高速、實時、高精度測量晶圓和樹脂

產(chǎn)品詳細信息

特點

  • 非接觸式,非破壞性厚度測量

  • 反射光學系統(tǒng)(可從一側(cè)接觸測量)

  • 高速(*高5 kHz)實時評測

  • 高穩(wěn)定性(重復精度低于0.01%)

  • 耐粗糙度強

  • 可對應任意距離

  • 支持多層結(jié)構(gòu)(*多5層)

  • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能

  • 可進行距離(形狀)測量(使用配件嵌入式傳感器)*

*通過測量測量范圍內(nèi)的光學距離

 toku.png

Point1:獨有技術(shù)

對應廣范圍的薄膜厚度并實現(xiàn)高波長分辨率。
采用大塚電子獨有技術(shù)制成緊湊機身。
thickne.png

spectra.png

Point2:高速對應

即使是移動物體也可利用準確的間距測量,

是工廠生產(chǎn)線的理想選擇。

speed.png

Point3:各種表面條件的樣品都可對應

從20微米的小斑點到

各種表面條件的樣品,都可進行厚度測量。

spot.png

Point4:各種環(huán)境都可對應

因為*遠可以從200 mm的位置進行測量,

所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境。

condtion.png

測定項目

厚度測量(5層)

用途

各種厚膜的厚度

youto.png

式樣

型號 SF-3/200 SF-3/300 SF-3/1300 SF-3/BB
測量厚度范圍? 5~400 10~775 50~1300 5~775
樹脂厚度范圍? 10~1000 20~1500 100~2600 10~1500
*小取樣周期kHz(μsec) 5(200)※1 -
重復精度% 0.01%以下※2
測量點徑? 約φ20以上※3
測量距離mm 50.80.120※4.200※4
光源 半導體光源(クラス3B相當)
解析方法 FFT解析,*適化法※5
interface LAN,I/O入輸出端子
電源 DC24V式樣(AC電源另行銷售)
尺寸mm 123×128×224 檢出器:320×200×300
     光源:260×70×300
選配 各種距離測量探頭,電源部(AC用),**眼睛
     鋁參考樣品,測量光檢出目標,光纖清理器

 *1 : 測量條件以及解析條件不同,*小取樣周期也不同。
*2 : 是產(chǎn)品出貨基準的保證值規(guī)格,是當初基準樣品AirGap約300μm和
         約1000μm測量時的相對標準偏差( n = 20 )
*3 : WD50mm探頭式樣時的設(shè)計值
*4 : 特別式樣
*5 : 薄膜測量時使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

基本構(gòu)成

 SF-3_2.png

測定例

 SF-3r-1.png

貼合晶圓

 SF-3r-2.png

 

Mapping結(jié)果
研削后300mm晶圓硅厚度


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