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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA

    • 產(chǎn)品型號:SF-3AA
    • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    SF-3AA OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA
    詳情介紹:
    SF-3AA

       OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)

    SF-3AA搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。


    特 長
    • 提供微細圖案,提供溫厚和各種厚度信息

      實現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺(注2μm以下),實現(xiàn)高精度的定位

      MEMS和傳感器設(shè)備等對應(yīng)6英寸韋哈

      (Options):8和12英寸

      除了晶片形狀以外也可以對應(yīng)

    測定項目
    • パターン付きウェーハ
    • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
    • テンポラリーウェーハ

    スペック

    スペック
    構(gòu)成図

    構(gòu)成図

    測定例

    ■貼り合わせウェーハ(Si/ボンディング/サポート基板)

    Si膜厚分布(約25um)

    Si膜厚分布(約25μm)
     

    ボンディング膜厚分布(約25um)
    ボンディング膜厚分布(約25μm)

     OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA




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