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ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社
日期:2024-09-19 07:42
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摘要:ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社:油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵
,ULVAC愛發(fā)科油式旋片真空泵、ULVAC愛發(fā)科羅茨泵、ULVAC愛發(fā)科干式真空泵及活塞泵.
株式會(huì)社ULVAC(ULVAC),是1952年由日本生命保險(xiǎn)公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。真空設(shè)備產(chǎn)品主要含油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵等,應(yīng)用領(lǐng)域有平板顯示器,半導(dǎo)體,電子零部件,太陽能電池,汽車,醫(yī)療,食品等多個(gè)行業(yè)。
因進(jìn)口真空泵價(jià)格昂貴,返廠維修時(shí)間長(zhǎng)且價(jià)格高等原因,再加上國(guó)內(nèi)真空技術(shù)發(fā)展迅速,眾多客戶轉(zhuǎn)而使用國(guó)產(chǎn)真空泵替代進(jìn)口真空泵,或使用進(jìn)口真空泵但在國(guó)內(nèi)維修。自2003年創(chuàng)辦東莞大路通起,公司即承接各式進(jìn)口真空泵維修,如:英國(guó)愛德華(Edwards)、德國(guó)普旭(Busch)、法國(guó)阿爾卡特(Alcatel)、德國(guó)萊寶(Leybold)、德國(guó)里其樂(Rietschle)、德國(guó)貝克(Becker)、日本愛發(fā)科(Ulvac)、日本荏原(EBARA)、日本卡西亞瑪(Kashiyama)等。維修**專業(yè),價(jià)格優(yōu)惠,維修后專業(yè)檢測(cè),維修產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
ULVAC愛發(fā)科集團(tuán)是一家以在各領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ),以開創(chuàng)精細(xì)加工工藝為追求的研究開發(fā)型綜合企業(yè)集團(tuán)。
長(zhǎng)期以來,作為追求真空極限(Ultimate in Vacuum)的真空技術(shù)先驅(qū),我們以電子技術(shù)以及信息通信技術(shù)為引導(dǎo),以設(shè)備生產(chǎn)為中心,在能源、環(huán)保、運(yùn)輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域,提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。
特別是在半導(dǎo)體制造設(shè)備以及平面顯示器等制造設(shè)備方面,我們提供制造工藝中不可或缺的產(chǎn)品群。另外在技術(shù)開發(fā)方面,除了設(shè)備以外,還涵蓋到材料、分析評(píng)價(jià)以及售后服務(wù)等不同領(lǐng)域,并積極開展愛發(fā)科**解決方案。因此,為了提高客戶的滿意度,網(wǎng)羅世界專門企業(yè)的愛發(fā)科集團(tuán)正力圖提供不同的綜合**解決方案。
展望21世紀(jì)的技術(shù)藍(lán)圖,ULVAC愛發(fā)科集團(tuán)將次世代能源、精細(xì)化工技術(shù)、精密機(jī)械電子技術(shù)以及生物工程技術(shù)進(jìn)行復(fù)合,進(jìn)一步擴(kuò)大了技術(shù)應(yīng)用的寬度和深度,同時(shí)推進(jìn)愛發(fā)科解決方案的精細(xì)化和高度化。另外,為了對(duì)應(yīng)全球化的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)變化,我們將進(jìn)一步鞏固以解決客戶課題為使命的研究開發(fā)型企業(yè)的地位。
ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社
ULVAC愛發(fā)科集團(tuán),是面向各個(gè)行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、真空儀器、材料、分析設(shè)備,為解決客戶難題,提升客戶企業(yè)價(jià)值,提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團(tuán)。
在愛發(fā)科ULVAC集團(tuán)中,Components Business Unit是負(fù)責(zé)開發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團(tuán)體。真空設(shè)備的性能,是由追求***的真空技術(shù)的各種真空配套機(jī)器來支撐的。
ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社主要產(chǎn)品有:
真空泵(低?中真空)
ULVAC愛發(fā)科真空泵(高真空)
真空計(jì)
氣體分析儀(工藝氣體監(jiān)測(cè)儀
ULVAC愛發(fā)科檢漏儀
高速光譜橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器
真空閥
ULVAC愛發(fā)科DC電源
DC脈沖電源
MF電源
ULVAC愛發(fā)科真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過**的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列,根據(jù)獨(dú)有的高溫均熱化技術(shù),有效利用壓縮熱,實(shí)現(xiàn)了在CVD,蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中,與ECO-SHOCK的組合*多可節(jié)省約88%的電力。另外,提高了維護(hù)性和降低了噪音,全部型號(hào)CE對(duì)應(yīng)可能(可選)。
EB槍?EB電源
真空搬送機(jī)器人
分子間相互作用定量QCM設(shè)備
微量精密攪拌器
小型蒸發(fā)設(shè)備
低溫設(shè)備(CRYO)
熱處理?熱物性評(píng)估裝置
ULVAC愛發(fā)科真空泵干泵CR系列VerB是獲得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(CE,cTUVus)的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油,因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的,可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。
DIS-501
ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社:
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
?可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
?低振動(dòng)低噪音。
?維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。
ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社