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ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社
日期：2025-04-27 02:26
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摘要：ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社:油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵
,ULVAC愛發(fā)科油式旋片真空泵、ULVAC愛發(fā)科羅茨泵、ULVAC愛發(fā)科干式真空泵及活塞泵.
ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社
株式會社ULVAC（ULVAC），是1952年由日本生命保險公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。真空設(shè)備產(chǎn)品主要含油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵等，應(yīng)用領(lǐng)域有平板顯示器，半導體，電子零部件，太陽能電池，汽車，醫(yī)療，食品等多個行業(yè)。
因進口真空泵價格昂貴，返廠維修時間長且價格高等原因，再加上國內(nèi)真空技術(shù)發(fā)展迅速，眾多客戶轉(zhuǎn)而使用國產(chǎn)真空泵替代進口真空泵，或使用進口真空泵但在國內(nèi)維修。自2003年創(chuàng)辦東莞大路通起，公司即承接各式進口真空泵維修,如:英國愛德華(Edwards)、德國普旭(Busch)、法國阿爾卡特(Alcatel)、德國萊寶(Leybold)、德國里其樂(Rietschle)、德國貝克(Becker)、日本愛發(fā)科(Ulvac)、日本荏原(EBARA)、日本卡西亞瑪(Kashiyama)等。維修**專業(yè)，價格優(yōu)惠，維修后專業(yè)檢測，維修產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
ULVAC愛發(fā)科集團是一家以在各領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以開創(chuàng)精細加工工藝為追求的研究開發(fā)型綜合企業(yè)集團。
長期以來，作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum）的真空技術(shù)先驅(qū)，我們以電子技術(shù)以及信息通信技術(shù)為引導，以設(shè)備生產(chǎn)為中心，在能源、環(huán)保、運輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域，提供先進的真空技術(shù)產(chǎn)品。
特別是在半導體制造設(shè)備以及平面顯示器等制造設(shè)備方面，我們提供制造工藝中不可或缺的產(chǎn)品群。另外在技術(shù)開發(fā)方面，除了設(shè)備以外,還涵蓋到材料、分析評價以及售后服務(wù)等不同領(lǐng)域，并積極開展愛發(fā)科**解決方案。因此，為了提高客戶的滿意度，網(wǎng)羅世界專門企業(yè)的愛發(fā)科集團正力圖提供不同的綜合**解決方案。
展望21世紀的技術(shù)藍圖，ULVAC愛發(fā)科集團將次世代能源、精細化工技術(shù)、精密機械電子技術(shù)以及生物工程技術(shù)進行復合，進一步擴大了技術(shù)應(yīng)用的寬度和深度，同時推進愛發(fā)科解決方案的精細化和高度化。另外，為了對應(yīng)全球化的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)變化，我們將進一步鞏固以解決客戶課題為使命的研究開發(fā)型企業(yè)的地位。
ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社
ULVAC愛發(fā)科集團，是面向各個行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、真空儀器、材料、分析設(shè)備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團。
在愛發(fā)科ULVAC集團中，Components Business Unit是負責開發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團體。真空設(shè)備的性能，是由追求***的真空技術(shù)的各種真空配套機器來支撐的。
ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社主要產(chǎn)品有：
真空泵(低?中真空)
ULVAC愛發(fā)科真空泵(高真空)
真空計
氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測儀
ULVAC愛發(fā)科檢漏儀
高速光譜橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器
真空閥
ULVAC愛發(fā)科DC電源
DC脈沖電源
MF電源
ULVAC愛發(fā)科真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過**的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列，根據(jù)獨有的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合*多可節(jié)省約88%的電力。另外，提高了維護性和降低了噪音，全部型號CE對應(yīng)可能（可選）。
EB槍?EB電源
真空搬送機器人
分子間相互作用定量QCM設(shè)備
微量精密攪拌器
小型蒸發(fā)設(shè)備
低溫設(shè)備(CRYO)
熱處理?熱物性評估裝置
ULVAC愛發(fā)科真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油，因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的，可長時間穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。
DIS-501
ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社:
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
?可實現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護周期可通過計時表控制。
ULVAC愛發(fā)科半導體真空泵株式會社
