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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
MITAKA三鷹光器 3D面輪廓粗糙度測(cè)定PF-60可實(shí)現(xiàn)50倍折射率測(cè)量速度的掃描自動(dòng)AF功能和高精度自動(dòng)XY載物臺(tái)，以亞微米級(jí)測(cè)量精度實(shí)現(xiàn)數(shù)十毫米寬范圍的高速測(cè)量。
它非常適合測(cè)量橫截面曲線無(wú)法檢測(cè)到的精密加工零件的翹曲、成型品中的形狀缺陷以及摩擦學(xué)中磨損和劃痕的定量評(píng)估。
詳情介紹：
國(guó)內(nèi)總代MITAKA三鷹光器 3D面輪廓粗糙度測(cè)定PF-60
測(cè)量概述
PF-60由用于Z軸高度測(cè)量的自動(dòng)對(duì)焦（AF）顯微鏡和用于掃描的高精度XY載物臺(tái)組成。
高度方向上的位置由AF顯微鏡測(cè)量，并通過(guò)在XY載物臺(tái)上移動(dòng)工件來(lái)捕獲XYZ坐標(biāo)以測(cè)量形狀。
高度方向上的位置由AF顯微鏡測(cè)量，并通過(guò)在XY載物臺(tái)上移動(dòng)工件來(lái)捕獲XYZ坐標(biāo)以測(cè)量形狀。
掃描XY載物臺(tái)
由于充分利用高精度XY載物臺(tái)讀取坐標(biāo)軸，因此可以在可移動(dòng)范圍（60 mm x 60 mm）內(nèi)進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。 由于沒(méi)有視場(chǎng)范圍等測(cè)量精度，因此無(wú)需將測(cè)量數(shù)據(jù)拼接在一起，并且可以進(jìn)行大范圍的高精度測(cè)量。
點(diǎn)焦點(diǎn)表達(dá)式
用于高度測(cè)量的AF顯微鏡中包含的激光束通過(guò)上圖所示紅線的光路中的物鏡，并以半徑為0.5μm的激光探頭的形式在測(cè)量工件的表面上形成圖像。
激光探頭在工件表面上的反射光再次穿過(guò)物鏡并在AF傳感器上形成圖像，但是當(dāng)激光探頭從焦點(diǎn)位置移動(dòng)時(shí)，AF傳感器上的光斑位置也會(huì)發(fā)生變化。 自動(dòng)對(duì)焦傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)光斑的位置位移，并通過(guò)操作自動(dòng)對(duì)焦軸機(jī)構(gòu)定位自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡，使光斑始終位于傳感器的中心。
激光探頭在工件表面上的反射光再次穿過(guò)物鏡并在AF傳感器上形成圖像，但是當(dāng)激光探頭從焦點(diǎn)位置移動(dòng)時(shí)，AF傳感器上的光斑位置也會(huì)發(fā)生變化。 自動(dòng)對(duì)焦傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)光斑的位置位移，并通過(guò)操作自動(dòng)對(duì)焦軸機(jī)構(gòu)定位自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡，使光斑始終位于傳感器的中心。
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